内蒙古尝试室系统工程-过滤器检漏

一、注明

过滤网的泄漏测试该当是无尘室测试中
，复杂、耗功夫的丈量项目。泄漏测试的主张
，是要确认：

1. 滤网的资料无破损
，

2. 装置适当。

滤网出厂前当然要经过泄漏测试
，但是在搬运与装置过程难保齐全无损
，并且滤网的沉要性又大于所有
，因而装置结束都要做一次扫描
，以确认滤材无任何泄漏。另表
，若是装置不适当
，微
；岽颖呖蚵┙蕹臼曳缈。就算是 FFU 系统
，天花板上是负压
，若是边框机有微粒日后仍旧会产生问题。因而
，边框扫描一样沉要。滤网泄漏测试根基上是利用滤网上游的颗粒
，而后在滤网下表表与边框用微粒探测仪器搜索有无泄漏。泄漏测试有几种分歧的方式
，合用在分歧的场所。

测试方式有：

1. 气胶光度计测试法  2. 微粒计数器测试法  3. 全效能测试法  4. 表气测试法    后两种此刻使用极度少。

二、步骤

气溶胶光度计测试法

气胶光度计测试法是最早期的测试方式
，但是由于成效极度好
，到今天仍旧沿用。气胶光度计（ Aerosol Photometer ）是微粒计数器的一种
，也是使用雷射科技
，但是它在扫描空气样本的微粒之后
，所给的是微粒的总体强度
，不是微粒数量。 DOP 是一种油性化学物质
，现改用PAO,加压或加热雾化之后
，能够产生次微米等级的微粒
，可用来仿照无尘室的微粒
，因而被当成验证微粒。

微粒计数器测试法

半导体业方面
，早期也是使用 DOP/PAO 与气胶光度计
，但是随着造作精密度增长
，油性挑战微粒逐步不答理在无尘室使用
，因而出现使用干式尘埃当成挑战微粒
，在上游施放
，而后用微粒计数器鄙人游扫描
，寻找泄漏
，根基概想齐全一样。经过科学家一步步钻研了局
，发现 PSL 由于微粒的粒径与浓度能够节造
，因而是目前最广为使用的尺度微粒。使用时只有把 PSL 溶液雾化
，导入滤网上游即可。

PAO/DOP过滤器检漏

一、注明

气胶光度计测试法是最早期的测试方式
，但是由于成效极度好
，到今天仍旧沿用。气胶光度计（Aerosol Photometer）是微粒计数器的一种
，也是使用雷射科技
，但是它在扫描空气样本的微粒之后
，所给的是微粒的总体强度
，不是微粒数量。DOP是一种油性化学物质
，加压或加热雾化之后
，能够产生次微米等级的微粒
，可用来仿真无尘室的微粒
，因而被当成验证微粒。

泄漏的界说是泄漏出上游浓度万分之一
，由于气胶光度计能够直接显示高低游微粒浓度的比值
，因而扫描滤网极度方便。也正因其正确、靠得住
，美国食品与药品管造局（FDA）划定
，在其管辖领域内（食品加工厂所与医疗造药场所）
，所有的滤网泄漏测试必须使用DOP与气胶光度计。近年出处于人们疑惑DOP会导致癌症
，因而多改用PAO。PAO和DOP的个性类似
，使用上无多大差距。

二、测试仪器

本测试法使用仪器为气胶光度计（Aerosol Photometer）与微粒产生器（Aerosol Generator）。气胶光度计的显示版有仿照与数字两种
，每年必须校对一次。微粒产生器有两种
，一种是通常的微粒产生器
，只有求高压空气
，另一种是加热型微粒产生器
，要高压空气和电源
，微粒产生器不必要校对。

三、测试方式

滤网泄漏测试的步骤
，大体上是施放微粒并查抄浓度、滤网与边框扫描以发现泄漏、更换或建补、沉测。其步骤注明如下 ：

在图面上纪录滤网数量并编号。

确定空调系统正常运行并可供测试
，风速与风量必须调整平衡结束。

使用气胶产生器在上游施放挑战微粒
，将PAO打入滤网上游
，微粒浓度是约莫每公升空气含有10到20微克的PAO。微粒愈多愈容易找出泄漏
，但是超过50微克以来差距不大
，少于10则很难使用。微粒浓度可用风量粗略推算
，再用气胶光度计确认。

上游微粒浓度确认后
，就能够在滤网表表扫描
，寻找泄漏
，必要时滤网周围可用塑料帘覆盖以确保测试之正确

在滤网表表扫描
，扫描之蹊径可由表而内或沿长/短边曲折检测.